[情報] ASML 交貨英特爾首套 High-NA EUV 曝光機

ASML 交貨英特爾首套 High-NA EUV 曝光機，總價逾 3 億美元 曝光機大廠 ASML 21 日宣布，已運送業界首套數值孔徑為 0.55（High-NA）極紫外線 （EUV）曝光機給英特爾。英特爾之前表示，首套 High-NA EUV 曝光機將用於學習如 何生產 Intel 18A 先進製程，有望使英特爾領先對手台積電和三星。 ASML 發言人表示，已出貨第一套 High-NA EUV 曝光機給英特爾。如 9 月宣布，機器 從荷蘭 ASML 總部運往英特爾俄勒岡州晶圓廠安裝。High-NA EUV 曝光機體積非常大， 需 13 個大貨櫃才能裝完。每套 High-NA EU V 曝光機成本約 3 億至 4 億美元。 英特爾表示，會使用最新設備學習生產 Intel 18A 製程，2025 年量產。配備 0.55 NA 透鏡的高 High-NA EUV 曝光機達 8 奈米解析度，比 0.33 NA 透鏡、13 奈米解析度標 準 EUV 曝光機顯著提升。High-NA 將在 2 奈米及更先進製程發揮重要作用。 因 High-NA EUV 曝光機與標準 EUV 曝光機差異不小，需大量修正基礎設施，故領先對 手幾季部署對英特爾是很大優勢。英特爾有充足時間調整 Intel18A 製程，一方面調整 High-NA EUV 曝光機基礎設施。 來源 https://technews.tw/2023/12/22/asml-delivers-first-set-of-high-na-euv-exposure-machine-to-intel/ https://reurl.cc/XqkXVE i社表示：機器來了，需要大量新鮮的肝臟 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.37.39.51 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/PC_Shopping/M.1703275430.A.2D9.html